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LMM線縫寬（CD）測量機
LMM系列大面積高精度線寬測量機，通過手動或根據(jù)設計的測量程序自動對工件線路進行線寬及套合測量，保證線路寬度及套合精度，測量精度可達到5nm

應用領域:
1．FPD（LCD、OLED、PDP等）、IC封裝、高精度PCB （HDI，BGA、CSP等） 、 Photomask、模具及其他電子行業(yè)基板的精密測量。
2．線、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環(huán)寬等小尺寸的精密測量。