CMM坐標(biāo)測(cè)量機(jī)系列
CMM系列大面積高精度坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，通過手動(dòng)或根據(jù)設(shè)計(jì)的測(cè)量程序自動(dòng)對(duì)工件進(jìn)行坐標(biāo)及長(zhǎng)度測(cè)量，測(cè)量精度可以達(dá)到0.1μm，測(cè)量面積可達(dá)到1500*1850
應(yīng)用領(lǐng)域:
1．FPD（LCD、OLED、PDP等）、IC封裝、高精度PCB （HDI，BGA、CSP等） 、 Photomask、模具及其他電子行業(yè)基板的精密測(cè)量。
2．長(zhǎng)度及套合尺寸的精密測(cè)量，線、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環(huán)寬等小尺寸的精密測(cè)量，以及平整度的測(cè)量。
3．.其余大面積工件高精度長(zhǎng)度及二維坐標(biāo)測(cè)量場(chǎng)合。